創新研究的理想選擇

Park NX10原子力顯微鏡為您帶來高精納米級分辨率的數據，值得您信賴、使用和擁有。無論是從樣品設定還是到全掃描成像、測量與分析，Park NX10都可以在保證您專注于創新研究工作的同時提供高精度的數據。

高精度測量

·低噪聲Z探測器可精確測量原子力顯微鏡表面形貌

·通過消除掃描器串擾進行準確的XY掃描

·True Non-ContactTM模式可保證最佳探針壽命，高分辨率掃描以及保護樣品

·個性化設計的硬件和軟件功能

Park NX10原子力顯微鏡的低噪聲Z探測器

Z軸探測器是全新NX系列原子力顯微鏡的核心技術之一。它是Park的創新型應變傳感器。憑借著0.2埃的低噪聲一躍成為行業內噪聲較低的Z軸探測器。低噪聲讓Z軸探測器可作為默認的形貌信號，全新的NX系列原子力顯微鏡與前幾代的原子力顯微鏡的差異可輕易被觀察到。如果Z軸探測器的噪聲過高，用戶無法觀察到藍寶石晶片的原子臺階。Park NX系列原子力顯微鏡的Z軸探測器所發出的高度信號，其噪聲水平與Z軸電壓形貌相同。

簡單的探針和樣品更換

專有的設計能讓您輕易地用手從側面更換新的探針和樣品。借助安裝懸臂式探針夾頭中預先對齊的懸臂，無需再進行繁雜的激光校準工作。

閃電般快速的自動近針

自動的探針樣品進針功能能讓用戶無需進行干預操作。通過監測懸臂接近表面的反應，Park NX10能夠在懸臂裝載后十秒內開始并自動快速完成探針樣品進針操作。高速Z軸掃描器的快速信息反饋和NX電子控制器的低噪聲信號處理使得無需用戶干預就能快速接觸樣品表面。

Park NX10技術參數

掃描器

Z掃描器

柔性引導高推動力掃描器

掃描范圍: 15 µm (可選30 µm)
高度信號噪聲等級: 30 pm
0.5 kHz bandwidth, rms (typical)

XY掃描器

閉環控制的柔性引導XY掃描器

掃描范圍: 50 µm × 50 µm
(可選10 µm × 10 µm 或 100 µm × 100 µm)

驅動臺

Z位移臺行程范圍 : 25 mm (Motorized)
聚焦樣品臺行程范圍 : 15 mm (Motorized)
XY位移臺行程范圍 : 20 mm x 20 mm (Motorized)

樣品架

樣品尺寸: 開放空間 up to 100 mm x 100 mm，厚度 up to 20 mm
樣品重量 : < 500 g

光學

10倍 (0.23 N.A.)超長工作距離鏡頭 (1µm分辨率)
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 480 × 360 µm (帶10倍物鏡)
CCD : 100萬像素, 500萬像素 (可選)

軟件

SmartScan™

AFM系統控制和數據采集的專用軟件
智能模式的快速設置和簡易成像
手動模式的高級使用和更精密的掃描控制

XEI

AFM數據分析軟件

電子

集成功能

4通道數字鎖相放大器
彈性系數校準(熱方法，可選)
數據Q控制

連接外部信號

20個嵌入式輸入/輸出端口
5個TTL輸出 : EOF, EOL, EOP,調制和交流偏壓